Vákuumszivattyú kiválasztásához ---Útmutató
A vákuumszivattyú kiválasztásakor a következő szempontokra kell ügyelnie:
1. A vákuumszivattyú üzemi nyomásának meg kell felelnie a vákuumberendezés végső vákuum és üzemi nyomás követelményeinek. Például: a vákuumbevonathoz 110-5Hgmm vákuumfok szükséges, és a kiválasztott vákuumszivattyú vákuumfokának legalább 510-6Hgmm-nek kell lennie. Általában a szivattyú vákuumfokát úgy választják meg, hogy fele-egy nagyságrenddel nagyobb legyen, mint a vákuumberendezés vákuumfoka.
2. Helyesen válassza ki a vákuumszivattyú munkapontját. Mindegyik szivattyútípusnak van egy bizonyos üzemi nyomástartománya, például 10-3~10-7 Hgmm diffúziós szivattyú esetén. Ilyen széles nyomástartományon belül a szivattyú szivattyúzási sebessége a nyomással változik, és stabil üzemi nyomástartománya 510-4 ~510-6 Hgmm. Ezért a szivattyú munkapontját ezen a tartományon belül kell kiválasztani, és nem szabad megengedni, hogy hosszú ideig 10-8Hgmm alatt működjön. Egy másik példa, hogy a titán szublimációs szivattyú 10-2 Hgmm-en is működhet, de üzemi nyomásának 110-5 Hgmm-nél kisebbnek kell lennie.
3. A vákuumszivattyúnak képesnek kell lennie arra, hogy a vákuumberendezés folyamata során keletkező összes gázt üzemi nyomása alatt ürítse ki. 4. Helyesen kombinálja a vákuumszivattyút. Mivel a vákuumszivattyúk szelektív szivattyúzási képességekkel rendelkeznek, előfordulhat, hogy egy szivattyútípus nem felel meg a szivattyúzási követelményeknek, és több szivattyút kell kombinálni, hogy kiegészítsék egymást, hogy megfeleljenek a szivattyúzási követelményeknek. Például egy titán szublimációs szivattyú nagy szivattyúzási sebességgel rendelkezik a hidrogén esetében, de nem képes héliumot pumpálni, míg a hárompólusú porlasztó ionszivattyú (vagy egy dióda aszimmetrikus katódos porlasztó ionszivattyú) bizonyos argon szivattyúzási sebességgel rendelkezik. Kombináltan a vákuumkészülék jobb vákuumfokot kap. Ezenkívül egyes vákuumszivattyúk nem működhetnek atmoszférikus nyomás alatt, és elővákuumot igényelnek; Egyes vákuumszivattyúk kimeneti nyomása alacsonyabb, mint a légköri nyomás, és szükség van egy ellenszivattyúra, ezért a szivattyúkat kombinálni kell.
5. A vákuumberendezések olajszennyezésére vonatkozó követelmények. Ha a berendezés szigorúan olajmentességet igényel, különféle olajmentes szivattyúkat kell választani, mint pl.: vízgyűrűs szivattyúk, molekulaszita adszorpciós szivattyúk, porlasztó ionszivattyúk, kriogén szivattyúk stb. Ha a követelmények nem szigorúak, választhat rendelkezzen olajszivattyúval, és adjon hozzá néhány olajszennyezés elleni intézkedést, mint például hidegcsapdák, terelőlemezek, olajcsapdák stb. hozzáadása a tiszta vákuumkövetelmények eléréséhez.
6. Ismerje meg a szivattyúzott gáz összetételét, tartalmaz-e kondenzálható gőzt, van-e porszemcsés por, korrozív-e stb. A vákuumszivattyú kiválasztásakor ismernie kell a gáz összetételét, és ki kell választania a megfelelő szivattyút a gázhoz pumpálni kell. Ha a gáz gőzt, részecskéket és korrozív gázokat tartalmaz, fontolja meg kiegészítő berendezések, például kondenzátorok, porgyűjtők stb. felszerelését a szivattyú levegőbemeneti vezetékére.
7. Milyen hatással van a környezetre a vákuumszivattyúból kibocsátott olajgőz? Ha a környezet nem engedi meg a szennyezést, választhat olajmentes vákuumszivattyút, vagy a szabadba engedheti ki az olajgőzt.
8. A vákuumszivattyú működés közben keltett rezgése van-e hatással a folyamatra és a környezetre? Ha a folyamat nem teszi lehetővé, rezgésmentes szivattyút kell választani, vagy rezgéscsillapító intézkedéseket kell tenni.
9. A vákuumszivattyúk ára, üzemeltetési és karbantartási költségei.